Le mot grisaille apparaît dans la langue française au XVIIe siècle, en 1625, dans une lettre de l’érudit provençal Peiresc à Rubens. Son apparition est suivie en 1649 par la création du mot grisailler qui signifie peindre en grisaille. Ce verbe n’est aujourd’hui guère employé que de manière intransitive pour indiquer qu’un objet prend une teinte grise. Quand les écrivains de la fin du XIXe siècle évoquaient la grisaille d’une journée, ils avaient encore à l’esprit l’impression produite par une peinture monochrome.

Le mot camaïeu, dont l’étymologie, peut-être arabe, est incertaine, précède le mot camée. Le premier apparaît au XIIIe siècle sous la forme camaheu. Le second n’est attesté qu’à partir de 1752 et vient de l’Italien. Le terme camée peut parfois décrire une peinture en grisaille imitant la pierre du même nom.
Le sens premier du clair-obscur est l’absence de mélange de couleur et l’italien a longtemps utilisé le mot chiaroscuro comme un synonyme de monocromo. Adopté en français à la fin du XVIIe siècle, le mot clair-obscur concurrença longtemps le mot grisaille.